產(chǎn)品簡介
海德漢公司的光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線-光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大長度的光柵尺,用鋼帶作為光柵尺基體。
海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
? METALLUR:抗污染的鍍金層金屬柵線;典型柵距:20 μm
? SUPRADUR相位光柵:光學(xué)三維平面格柵;*抗污能力;典型柵距:
詳細介紹
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺LIC 2117,LIC 2197
式直線光柵尺,測量長度達3 m
• 測量步距100 nm或50 nm
• 將鋼尺帶穿入鋁殼中并在中間位置固定
• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用
增量測量法的磁柵由周期性柵線組成。通 過計算自某點開始的增量數(shù)(測量步距 數(shù))獲得位置信息。由于必須用參考 點確定位置值,因此測量基準的光柵尺上 還有一個參考點刻軌。在光柵尺上,由參 考點確定的位置是在一個信號周期分 配的。因此,必須通過掃描參考點建立絕 對基準點或確定上次選擇的原點。
在不理想的情況下,可能需要運動機床 測量范圍的相當大部分。為加快和簡化 “參考點回零”操作,許多海德漢尺帶距 離編碼參考點,這些參考點之間彼此相距 數(shù)學(xué)算法確定的距離。因此只需運動數(shù)毫 米,一旦移過兩個相鄰參考點后,后續(xù)電 子電路就能找到參考點位置(見下 表)。距離編碼參考點的光柵尺在型號后 均帶字母“C”(例如LIF 181C)。
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
對于距離編碼參考點,參考點B的位 置用兩個參考點間步距數(shù)和以下公式計 算: