產品信息

 特　點

●膜厚測量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）

●膜厚值高重復精度

●1點1秒以內的高速測量

●最小小點Φ3μm）中瞄準模式

●最zui適shi合圖案晶片的膜厚映射

●能夠取得圖案對準用圖像

裝置組裝示意圖

測量數(shù)據示意圖

測量光點周邊圖像

適應過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等

式樣

上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經過多年的發(fā)展，上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產品和服務在行業(yè)內具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。