當前位置:北京波威科技有限公司>>光電常用設備>> 硅片厚度傳感器(SIT-200)
應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子,航天,電氣,綜合 |
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硅片厚度傳感器(SIT-200)中與寬帶光源不同,SIT-200使用高速掃描可調諧激光器探測被測晶圓。這使得每波長的功率測量更高,從而產生更高的動態(tài)范圍。結果,例如在濕蝕刻期間/之后,甚至可以在未拋光的晶圓上執(zhí)行厚度測量。
硅片厚度傳感器(SIT-200)的主要特點有:
硅片厚度傳感器(SIT-200)的主要特點有:
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