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進(jìn)行電鏡下原子力測(cè)試，技巧都有哪些？
閱讀：722 發(fā)布時(shí)間：2021-5-24
電鏡下原子力能提供各種類型樣品的表面狀態(tài)信息。與常規(guī)顯微鏡比較，原子力顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)是在大氣條件下，以高倍率觀察樣品表面，可用于幾乎所有樣品（對(duì)表面光潔度有一定要求），而不需要進(jìn)行其他制樣處理，就可以得到樣品表面的三維形貌圖象。并可對(duì)掃描所得的三維形貌圖象進(jìn)行粗糙度計(jì)算、厚度、步寬、方框圖或顆粒度分析。
測(cè)試技巧
樣品的預(yù)處理：在電鏡下原子力下看樣品表面是否干凈，平整，如果有污染或不平整，務(wù)必重新制樣。雖然針尖能測(cè)試的有效高度為6微米，水平范圍100微米。但事實(shí)上，水平和高度方面任接近何一個(gè)極限，所測(cè)得的圖象效果將很差，且針尖很容易破壞和磨損。
下針：在選好模式下針前，務(wù)必找到樣品表面，調(diào)好焦距。掃描范圍先設(shè)置為0，當(dāng)針尖接觸到樣品表面后，再擴(kuò)大掃描范圍，保護(hù)下針時(shí)破壞針尖。
掃圖：為了得到好的圖象，須調(diào)好trace和retrace，一般來說調(diào)電壓效果會(huì)好一些。探針在多次使用后或樣品表面比較粗糙，掃描范圍太小時(shí)，trace和retrace重合會(huì)比較困難，可以增大掃描范圍或?qū)悠泛娓珊笤贉y(cè)。測(cè)試時(shí)應(yīng)保持安靜，空調(diào)等低頻噪音也會(huì)影響測(cè)試；如果環(huán)境太吵，可以降低圖象分辨率，減小外界的影響，或降低掃描頻率。
Integralgain和Proportionalgain：電鏡下原子力反饋系統(tǒng)的兩個(gè)增益值主要用來設(shè)定探針的反饋能力。適當(dāng)提高Igain和Pgain的值以提高系統(tǒng)的響應(yīng)性，但是這兩個(gè)參數(shù)不宜過高，否則會(huì)使掃描器振蕩，致使圖像出現(xiàn)失真。