按加工方式，納米級加工可分為切削加工、磨料加工（分固結磨料和游離磨料）、特種加工和復合加工四類（表4-2）。納米級加工還可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固有磨料和游離磨料加工；非傳統(tǒng)加工是指利用各種能量對材料進行加工和處理；復合加工是采用多種加工方法的復合作用。納米級加工技術也可以分為機械加工、化學腐蝕、能量束加工、復合加工、隧道掃描顯微技術加工等多種方法。機械加工方法有單晶金剛石刀具的超切削，金剛石砂輪和CBN砂輪的超磨削和鏡面磨削、磨、砂帶拋光等固定磨料工具的加工，研磨、拋光等自由磨料的加工等，能束加工可以對被加工對象進行去除，添加和表面改性等工藝，例如，用激光進行切割、鉆孔和表面硬化改性處理。用電子束進行光刻、焊接、微米級和納米級鉆孔、切削加工，離子和等離子體刻蝕等。屬于能量束的加工方法還包括電火花加工、電化學加工、電解射流加工、分子束外延等。STM加工可以進行原子級操作和原子去除、增添和搬遷等。