產(chǎn)品簡介
詳細介紹
離子源又稱離子槍,用以產(chǎn)生離子束流。其基本工作原理是將待電離氣體注入電離室,然后使氣態(tài)原子與電子發(fā)生碰撞而被電離,哈默納科粒子機械諧波LA-30B-10-F-L 從而得到等離子體。等離子體是多種離子的集合體,其中有帶電粒子和不帶電粒子,在宏觀上呈電中性。采用一個相對于等離子體為負電位的電極〔吸極),將離子由等離子體中引出而形成離子束流,而后使其加速射向工件或靶材。對離子源的要求,首先是離子束有較大的有效工作區(qū),哈默納科粒子機械諧波LA-30B-10-F-L 以滿足實際加工的需要。其次,離子源的中性損失要小。因為中性損失是指通向離子源的中性氣體未經(jīng)電離而損失的那部分流量,它將直接給真空系統(tǒng)增加負擔。此外,還要求離子源的放電損失小,結(jié)構(gòu)簡單,運行可靠等。
根據(jù)離子束產(chǎn)生的方式和用途不同哈默納科粒子機械諧波LA-30B-10-F-L ,離子源有很多形式。常用的有考夫曼型離子源和雙等離子管型離子源。
三、離子束加工的應用
目前,用于改變零件尺寸和表物理力學性能哈默納科粒子機械諧波LA-30B-10-F-L 的離子束加工技術(shù)主要有以下四種,即利用離子撞擊和濺射效應的離子束刻蝕、離子濺射鍍膜和離子鍍,以及利用離子注入效應的離子注入。