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數(shù)字式四探針測(cè)試儀

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) RTS-4
  • 品牌 其他品牌
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地 北京市
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更新時(shí)間:2022-04-27 10:30:51瀏覽次數(shù):553

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,航天,汽車(chē),電氣 自動(dòng)化度 全自動(dòng)
RTS-4型數(shù)字式四探針測(cè)試儀
可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,連接電腦使用帶自動(dòng)測(cè)量功能,自動(dòng)選擇適合樣品測(cè)試電流量程;
高速并口通訊接口,連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒

詳細(xì)介紹

RTS-4型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專(zhuān)用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專(zhuān)用儀器。
   儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
   儀器采用了新的電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
   本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠(chǎng)、半導(dǎo)體器件廠(chǎng)、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。


RTS-4型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶(hù)程序,通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
   測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

RTS-4型數(shù)字式四探針測(cè)試儀技 術(shù) 指 標(biāo)

測(cè)量范圍
電阻率:0.0001~2000Ω.cm(可擴(kuò)展);  
方塊電阻:0.001~20000Ω/□(可擴(kuò)展);
電導(dǎo)率:0.0005~10000 s/cm;
電阻:0.0001~2000Ω.cm;
可測(cè)晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái));
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái));
400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái));
恒流源
電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;
四探針探頭基本指標(biāo)
間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
(見(jiàn)探頭附帶的合格證)
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差
(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
≤5%
測(cè)試模式
可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試
軟件功能(選配)
軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。
計(jì)算機(jī)通訊接口
并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度:23±2℃;
相對(duì)濕度:≤65%;
無(wú)高頻干擾;
無(wú)強(qiáng)光直射;


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