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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),地礦,電子 |
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| 電阻率： | 10-5～105 Ω.cm(可擴展)； |
是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
產(chǎn)品分類品牌分類
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
RTS-8數(shù)字式四探針測試儀
是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了最新電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-8數(shù)字式四探針測試儀技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測量范圍 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)；
電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm；
電阻：10-5～105 Ω；
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量最大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標(biāo)準不確定度 ≤5%
測試模式 可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能（選配） 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。
計算機通訊接口 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。
標(biāo)準使用環(huán)境 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；
配置 四探針測試儀主機、探針臺、四探針探頭