蒸發(fā)鍍膜儀是一種用于在真空環(huán)境中通過物理氣相沉積技術(shù)制備薄膜的設(shè)備。它主要用于在各種基材上沉積一層或多層薄膜，廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。
蒸發(fā)鍍膜儀是一種用于在基底上制備均勻材料薄膜的設(shè)備，通過物理方法產(chǎn)生薄膜材料。其工作原理主要是利用加熱源(如電子束或電阻加熱)將材料加熱至高溫，使其蒸發(fā)并沉積在基底表面上，形成所需的薄膜。
工作原理
蒸發(fā)鍍膜儀的工作原理基于物理氣相沉積(PVD)技術(shù)。具體過程包括以下幾個(gè)步驟：
真空環(huán)境：使用真空泵將蒸發(fā)室內(nèi)的氣體抽出，創(chuàng)造一個(gè)高真空環(huán)境，以避免材料在蒸發(fā)過程中與氣體反應(yīng)。
蒸發(fā)源：將待鍍材料放置在蒸發(fā)源(如鎢舟或電子束加熱器)上，通過電阻加熱、電子束加熱等方式使材料蒸發(fā)。
沉積：蒸發(fā)的材料在基片上沉積，形成所需的薄膜。
特點(diǎn)：
電子束加熱比電阻加熱具有更高的通量密度，可以蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料，如W、Mo、Al2O3等，并可得到較高的蒸發(fā)速率。
被蒸發(fā)材料置于水冷銅坩堝內(nèi)，真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)可避免坩堝材料污染，可制備高純薄膜。
電子束蒸發(fā)粒子動(dòng)能大，有利于獲得致密、結(jié)合力好的膜層。
綜上所述，蒸發(fā)鍍膜儀是一種重要的薄膜制備設(shè)備，在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。在選購和維護(hù)時(shí)，需要充分考慮實(shí)際需求和預(yù)算。
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