產(chǎn)品型號(hào)

  OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐

主要特點(diǎn)

  1、為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上。

  2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Φ76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。

  3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發(fā)料。

  4、真空法蘭通過兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過機(jī)械泵其腔內(nèi)真空度可達(dá)10^-2torr，通過分子泵真空度可達(dá)10^-5

        torr。

  5、兩個(gè)真空法蘭都可以通過手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng)。

  6、一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部，可以精確測量腔內(nèi)真空度。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：單相AC208-240V（需20A的空氣開關(guān)）

  2、真空腔體：高純石英管，外徑280mm，內(nèi)徑275mm，高229mm

  3、加熱元件：兩組IR紅外燈管，額定功率800W，總功率1600W

  4、熱電偶：S型熱電偶2個(gè)，分別安裝于上下法蘭上

  5、工作溫度：兩個(gè)加熱區(qū)域單獨(dú)工作的zui高溫度≤650℃，兩加熱區(qū)域zui大溫差≤350℃

  6、加熱速率：>8℃/s

  7、冷卻速率：>10℃/s（600℃-100℃）

  8、真空法蘭：316不銹鋼制作，配有1個(gè)KF-25接口、2個(gè)1/4″軟管接頭

  9、真空計(jì)：數(shù)字式真空顯示計(jì)

可選配件

  1、PC控溫軟件

  2、兩路混氣系統(tǒng)

  3、多路浮子混氣系統(tǒng)

  4、多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)

  5、真空泵

  6、水冷機(jī)