產品型號

  GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

主要特點

  1、設有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。

  2、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得zui

        佳鍍膜效果。

  3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

  4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

  5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

  6、已通過CE認證。

技術參數(shù)

  1、電源：220V

  2、總功率：<2000W（包括真空泵）

  3、真空室：Φ160mm×120mm

  4、樣品臺：Φ50mm，且高度可調，可同時進行8個SEM樣品的鍍膜

  5、zui大均勻鍍膜：Φ45mm

產品規(guī)格

  尺寸：400mm×300mm×400mm；重量：30kg

標準配件

1

  金靶材

1個

2

  進氣針閥

1個

3

  保險絲

2個

可選配件

  金、銦、銀、鉑等各種靶材