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GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀
  • GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀
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貨物所在地:遼寧沈陽市

更新時間:2024-09-18 08:44:58

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GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計而成的Z簡單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。本機(jī)特別之處是在一個真空室內(nèi)安裝了三個靶,旋轉(zhuǎn)樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此,適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備,以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。

 

產(chǎn)品型號

   GSL-1100X-SPC-16 -3等離子三靶濺射儀

主要特點(diǎn)

  1、設(shè)有真空表、濺射電流表,可實(shí)時監(jiān)控工作狀態(tài)。

  2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得 

    *鍍膜效果。

  3鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計,可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

  4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

  5、根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。

  6、已通CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、靶:Φ45mm

  2、真空室:Φ160mm×120mm

  3、zui高真空度:≤4×10-2mbar

  4、靶位:3

  5、zui大電流:50mA

  6、可設(shè)定zui長時間:900s

  7、微型真空氣閥:連接Φ3mm軟管

  8、zui高電壓:1600V  DC

  9、機(jī)械泵:2L/s

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

  金靶材

1

2

  銀靶材

1

3

  鋁靶材

1

4

  進(jìn)氣針閥

1

5

  保險絲

2

可選配件

  金、銦、銀、鉑等各種靶材

 

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