產(chǎn)品型號(hào)

  PCE-8等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

  1、采用6″彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、真空泵的開啟等。

  2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì)，可以精確地控制進(jìn)氣流量。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：AC220V

  2、射頻功率：zui大100W，可在0-100W間調(diào)節(jié)

  3、真空泵功率：<500W

  4、總功率：<600W

  5、射頻：13.56MHz

  6、等離子腔體：高純石英腔體，外徑 Φ8.5 "，內(nèi)徑 Φ8.2 "，長12"，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密

                                封，法蘭設(shè)有一個(gè)Φ60mm的觀察窗口

  7、極限真空度：50mtorr

  8、通入氣體：可通入多種氣體，如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：620mm×450mm×600mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

  1、直連式雙旋真空泵（240L/min）

  2、KF25波紋管

  3、KF25手動(dòng)擋板閥

可選配件

  1、300W、600W射頻電源（進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn)）

  2、2″-6″石英舟（盛放基片）

  3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng)

  4、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)