•可靠的超純氣體生產(chǎn)和供應(yīng)

•一臺(tái)分析儀分析所有雜質(zhì)

•全自動(dòng)，實(shí)時(shí)雜質(zhì)報(bào)警功能

•可靠的24/7工藝保護(hù)

•晶圓產(chǎn)能

VeraSpec APIMS不僅分析速度快、靈敏度高，而且操作簡(jiǎn)單，可用于連續(xù)監(jiān)控氮?dú)狻鍤?、氦氣、氧氣和氫氣的供?yīng)需求。通過(guò)對(duì)ppt級(jí)別雜質(zhì)的快速響應(yīng)大程度保護(hù)電子制造工藝。

擁有Extrel VeraSpec APIMS，保護(hù)您的半導(dǎo)體生產(chǎn)

超純氣對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)非常重要。通過(guò)對(duì)超純氣純度的連續(xù)監(jiān)測(cè)可以確保半導(dǎo)體設(shè)備的產(chǎn)能。其被雜質(zhì)污染后的代價(jià)是非常昂貴的。

半導(dǎo)體工廠(chǎng)需要連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工藝氣的純度，雜質(zhì)的檢測(cè)限至低ppt級(jí)別。

要達(dá)到如此低的檢測(cè)下限，方式就是應(yīng)用大氣壓離子質(zhì)譜儀。在20多年里，APIMS已經(jīng)被應(yīng)用在科學(xué)研究和檢測(cè)工業(yè)在線(xiàn)微量氣體的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)。

基于四極桿技術(shù)的Extrel VeraSpec APIMS系統(tǒng)能檢測(cè)的氣體含量和氣體組分范圍非常寬泛。同時(shí)儀器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性、重復(fù)性是大多數(shù)應(yīng)用所必須要求的。

為了追求優(yōu)的性能、穩(wěn)定性和運(yùn)行時(shí)間，在半導(dǎo)體氣體分析領(lǐng)域，Extrel 是運(yùn)用19mmTri-filter四極濾質(zhì)器的質(zhì)譜儀生產(chǎn)商。