化學(xué)氣體刻蝕系統(tǒng) Certas Leaga

Certas LEAGA是一種率的系統(tǒng)，除了Certas WING的基本性能之外，還可以滿足單個(gè)平臺(tái)上的多個(gè)流程需求。針對(duì)當(dāng)前和下一代設(shè)備的大量生產(chǎn)，LEAGA具有易于配置的主機(jī)，可以進(jìn)行優(yōu)化，以匹配所需的應(yīng)用程序。擴(kuò)展了Certas系列的工藝技術(shù)，現(xiàn)在可以控制多種類型氧化硅薄膜中的蝕刻選擇性，從非選擇性到高度選擇性，為從大批量生產(chǎn)到下一個(gè)廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵接口提供控制一代發(fā)展。

特征
的干氣去除選擇性范圍廣的選擇氧化膜

集群雙晶圓腔室設(shè)計(jì)提供靈活的模塊配置

應(yīng)用
二氧化硅膜去除和回蝕

在硅接觸之前進(jìn)行預(yù)清潔