一、產(chǎn)品概述：
^{ACU20FD-L 微小流量 氣體 質(zhì)量流量控制器 MFC 流量計}      

◆精度更高，響應(yīng)更快，帶網(wǎng)口；
◆管狀分流，不易堵塞；
◆適用于各種低壓和高壓管道；
◆預(yù)熱時間短，零漂小，可靠性高；
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機(jī)控制和顯示流量；

二、產(chǎn)品應(yīng)用：
玻璃行業(yè) / 太陽能 / 燃料電池 / 工業(yè)制作 / 石油石化
煤炭冶金 / 制氣配氣 / 環(huán)保 / 半導(dǎo)體 / 各種儀器分析

三、ACU20FD-L 微小流量 氣體 質(zhì)量流量控制器 MFC 流量計

產(chǎn)品參數(shù)：

量程范圍：2SCCM～30SLM
準(zhǔn) 確  度：±0.5%F.S
線       性：±0.5%F.S
重復(fù)精度：±0.2%F.S
響應(yīng)時間：流量計：＜0.1s 流量控制器：<0.2s
數(shù) 字  量：RS232/485，MODBUS協(xié)議
模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V
供       電：±15VDC，24VDC
工作溫度：0～50℃
工作壓力：工作壓降：<0.01Mpa(流量計）
工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）
耐       壓：3MPa/10MPa
漏       率：1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì)：不銹鋼
密封材質(zhì)：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠
接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8",1/2",1"…….

如果所需性能要求與上述性能不同，可以溝通定制。