一、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品特點：

-- 標(biāo)配一個壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制，該P(yáng)C數(shù)字板具有控制壓力所需的              所有功能。

-- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，ACU20PCD還提供模擬量輸入/出信號，可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個            工藝過程。

-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。

二、應(yīng)用領(lǐng)域：

-- 半導(dǎo)體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制，高壓釜/反              應(yīng)釜壓力控制等。

三、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品參數(shù)：

                                 （如所需性能與下述性能參數(shù)不同，請溝通定制。)