photoelectronsoulPES-2020電子束系統(tǒng)®應(yīng)用：半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備？

時(shí)間：2023/11/23閱讀：451

photoelectronsoulPES-2020電子束系統(tǒng)®應(yīng)用：半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備

【產(chǎn)品特點(diǎn)】

電子束比肖特基亮 10 倍以上

世界數(shù)字選擇性電子束™ (DSeB) 功能

多束兼容，可形成任意形狀的電子束

即使在長(zhǎng)期運(yùn)行期間也能保持高可用性和出色的輸出穩(wěn)定性

[機(jī)身規(guī)格]

加速電壓：可調(diào)至-50kV

光束電流：200 uA 或以上

尺寸：821 mm x 722 mm x 562 mm（高 x 寬 x 深）

重量：140 kg

激光等級(jí)：4 級(jí)

安全標(biāo)準(zhǔn)：SEMI S2合規(guī)的

電子束工作在15uA電流下，穩(wěn)定性為0.033% (g)，正常運(yùn)行時(shí)間為96%(達(dá)到)由于光陰極表面功能的惡化，光陰極的量子效率下降。根據(jù)量子效率(綠線)的惡化，通過(guò)控制激光功率(黃線)來(lái)保持電子束電流(藍(lán)線)的穩(wěn)定。通過(guò)表面再活化，表面功能得到了恢復(fù)。

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