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sanko-denshi膜厚計(jì)SWT-NEO 的介紹

時(shí)間：2025/3/19閱讀：133
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Sanko-Denshi（三光電機(jī)）是一家知的名的日本公司，專注于生產(chǎn)各種精密測量儀器，其中包括膜厚計(jì)。Sanko-Denshi的膜厚計(jì)SWT-NEO是一款用于測量薄膜厚度的高精度儀器，廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。以下是關(guān)于Sanko-Denshi膜厚計(jì)SWT-NEO的詳細(xì)介紹：

一、產(chǎn)品概述

  • 品牌：Sanko-Denshi（三光電機(jī)）
  • 型號(hào)：SWT-NEO
  • 類型：光學(xué)膜厚測量儀
  • 用途：用于測量各種薄膜的厚度，包括透明薄膜、金屬薄膜、半導(dǎo)體薄膜等。

二、工作原理

  • 光學(xué)干涉法：SWT-NEO采用光學(xué)干涉原理進(jìn)行膜厚測量。通過發(fā)射一束激光到薄膜表面，反射光和透射光之間會(huì)發(fā)生干涉現(xiàn)象。通過分析干涉條紋的變化，可以精確計(jì)算出薄膜的厚度。
  • 高精度測量：該方法具有高精度和高分辨率，能夠測量納米級(jí)厚度的薄膜。

三、功能特點(diǎn)

  • 高精度測量：能夠測量納米級(jí)厚度的薄膜，測量精度可達(dá)亞納米級(jí)別。
  • 非接觸式測量：采用光學(xué)測量方法，無需接觸樣品，避免對(duì)樣品造成損傷。
  • 多種測量模式：支持多種測量模式，包括單點(diǎn)測量、多點(diǎn)測量和掃描測量。
  • 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析：儀器內(nèi)置數(shù)據(jù)分析軟件，能夠?qū)崟r(shí)顯示測量結(jié)果，并提供多種數(shù)據(jù)處理功能。
  • 多種測量范圍：適用于不同厚度范圍的薄膜測量，從納米級(jí)到微米級(jí)。
  • 用戶友好界面：配備大屏幕液晶顯示屏，操作界面直觀易用。
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與輸出：可以存儲(chǔ)大量測量數(shù)據(jù)，并通過USB接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行進(jìn)一步分析。
  • 多種語言支持：支持多種語言顯示，包括英語、日語、中文等。

四、技術(shù)規(guī)格

  • 測量范圍：納米級(jí)至微米級(jí)（具體范圍取決于薄膜材料和測量條件）。
  • 測量精度：亞納米級(jí)別。
  • 測量速度：快速測量，適合高通量檢測。
  • 光源：激光光源，波長可根據(jù)測量需求選擇。
  • 測量模式：單點(diǎn)測量、多點(diǎn)測量、掃描測量。
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：可存儲(chǔ)大量測量數(shù)據(jù)。
  • 數(shù)據(jù)輸出：USB接口，支持?jǐn)?shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)。
  • 電源：交流電源適配器。
  • 尺寸：緊湊型設(shè)計(jì)，便于實(shí)驗(yàn)室和現(xiàn)場使用。
  • 重量：輕便，便于攜帶。

五、應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體行業(yè)：用于測量半導(dǎo)體薄膜的厚度，如硅片上的氧化層、金屬層等。
  • 電子行業(yè)：用于測量電子元件上的薄膜厚度，如電容、電阻等。
  • 光學(xué)行業(yè)：用于測量光學(xué)薄膜的厚度，如反射膜、增透膜等。
  • 材料科學(xué)：用于研究新型薄膜材料的厚度和性能。
  • 科研領(lǐng)域：用于實(shí)驗(yàn)室研究和開發(fā)中的薄膜厚度測量。

六、操作步驟

  1. 準(zhǔn)備樣品：將待測樣品放置在測量平臺(tái)上，確保樣品表面平整。
  2. 開機(jī)：連接電源并打開儀器，進(jìn)行自檢和初始化。
  3. 設(shè)置參數(shù)：根據(jù)樣品的性質(zhì)和測量需求，設(shè)置測量模式、光源波長等參數(shù)。
  4. 開始測量：將激光對(duì)準(zhǔn)樣品表面，按下測量鍵，儀器自動(dòng)進(jìn)行測量。
  5. 讀取結(jié)果：測量完成后，儀器會(huì)顯示薄膜的厚度和相關(guān)數(shù)據(jù)。
  6. 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與輸出：將測量結(jié)果存儲(chǔ)到儀器中，或通過USB接口傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行進(jìn)一步分析。

七、優(yōu)勢(shì)

  • 高精度：采用光學(xué)干涉法，測量精度高，重復(fù)性好。
  • 非接觸式測量：無需接觸樣品，避免對(duì)樣品造成損傷。
  • 多功能：支持多種測量模式和數(shù)據(jù)處理功能，滿足不同用戶的需求。
  • 便攜性：體積小、重量輕，便于攜帶和現(xiàn)場使用。
  • 操作簡便：界面友好，操作簡單，易于上手。
  • 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析：內(nèi)置數(shù)據(jù)分析軟件，能夠?qū)崟r(shí)顯示測量結(jié)果并提供多種數(shù)據(jù)處理功能。

八、附件

  • 標(biāo)準(zhǔn)配件：主機(jī)、測量平臺(tái)、電源適配器、USB數(shù)據(jù)線、使用說明書等。
  • 可選配件：專用軟件、校準(zhǔn)片等。

九、維護(hù)與保養(yǎng)

  • 清潔：定期清潔光學(xué)鏡頭和測量平臺(tái)，避免灰塵和污漬影響測量結(jié)果。
  • 校準(zhǔn)：定期使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片進(jìn)行校準(zhǔn)，確保儀器測量準(zhǔn)確。
  • 存儲(chǔ)：存放于干燥、清潔的環(huán)境中，避免高溫、潮濕和強(qiáng)磁場。
Sanko-Denshi膜厚計(jì)SWT-NEO以其高精度、非接觸式測量和多功能性，成為薄膜厚度測量的理想工具，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域。


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