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Chiller主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負(fù)載的情況下控溫精度可達(dá)±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

　　一、產(chǎn)品概述：

　　半導(dǎo)體Chiller主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負(fù)載的情況下控溫精度可達(dá)±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

　　半導(dǎo)體chiller由制冷，加熱單元，循環(huán)，控制系統(tǒng)組成，全密封結(jié)構(gòu)對(duì)環(huán)境友好，產(chǎn)品系統(tǒng)多，控溫范圍廣，智能化控制軟件，加熱制冷速度快。

　　二、產(chǎn)品分為：

　　1.單通道系列

　　2.雙通道系列

　　3.三通道系統(tǒng)

　　三、半導(dǎo)體Chiller細(xì)節(jié)展示：

　　四、半導(dǎo)體chiller參數(shù)說明：

	名稱	參數(shù)	名稱	參數(shù)	名稱	參數(shù)
1	單通道系列	-20℃~+80℃	雙通道系列	-45℃~+40℃	三通道系列	-20℃~+50℃
2	溫度范圍	±0.1℃	溫度范圍	±0.2℃	溫度范圍	±0.1℃
3	精度	2kw@-10℃	精度	11kw@-20℃/5kw@-40℃	精度	15kw@-10℃
4	冷卻能力	3kw	冷卻能力	2kw	冷卻能力	2kw
5	加熱能力	20LPM@0.6MPa	加熱能力	17LPM@0.6MPa	加熱能力	30LPM@0.85MPa
6	流量	Rc3/4"	流量	Rc3/4"	流量	Rc3/4"
7	端口大小	15~20°C	端口大小	15~20°C	端口大小	15~20°C
8	溫度范圍	15LPM	溫度范圍	30LPM	溫度范圍	30LPM
9	所需流量	Rc1/2"	所需流量	Rc1/2"	所需流量	Rc3/4"*2
10	端口大小	0.3~0.7MPa	端口大小	0.3~0.7MPa	端口大小	0.3~0.7MPa
11	進(jìn)口壓力	/	進(jìn)口壓力	/	進(jìn)口壓力	/