普泰克(上海)制冷設(shè)備技術(shù)有限公司

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PTHC系列低溫液冷機(jī)
  • PTHC系列低溫液冷機(jī)
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貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2025-03-29 21:00:08

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PTHC系列低溫液冷機(jī)應(yīng)用于晶圓測(cè)試的高低溫冷熱臺(tái)(晶圓測(cè)試載物臺(tái))chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機(jī)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。

PTHC系列低溫液冷機(jī)應(yīng)用于晶圓測(cè)試的高低溫冷熱臺(tái)(晶圓測(cè)試載物臺(tái))chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機(jī)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清觸摸屏顯示,設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件。

設(shè)備控溫范圍:-80℃~200℃

Chuck盤面控制溫度:-60℃

溫度穩(wěn)定性:±0.1℃

制冷系統(tǒng):采用雙極壓縮制冷系統(tǒng)

定制:可按要求定制-60℃液冷制冷機(jī)



    參數(shù)看清楚

型號(hào)

  • 設(shè)備名稱

  • 制冷方式

  • 操作面板

  • 載冷劑

  • 全密閉系統(tǒng)

  • 介質(zhì)溫度范圍

  • 溫度精度

  • 溫度穩(wěn)定性

  • 溫度反饋

  • 控溫對(duì)象

  • 顯示分辨率

  • 通信協(xié)議

  • 外部輸入

  • 存儲(chǔ)功能

  • 冷凝方式

  • 安全防護(hù)

液冷制冷機(jī)

  • PTHC系列低溫液冷機(jī)

  • 雙級(jí)復(fù)疊制冷

  • 7英寸彩色觸摸屏,中文顯示,操作簡(jiǎn)便 、顯示直觀, 可顯示 、記錄 溫度曲線和測(cè)試數(shù)據(jù)

  • 氟化液或硅油

  • 管道材質(zhì):SUS304,采用全密閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

  • -80℃ ~ 200℃

  • 出口溫度±0.5 ℃

  • ± 0.1 ℃

  • 設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ,控晶圓測(cè)試chuck盤溫度

  • 設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度 (可選擇控制物料溫度)

  • 0.01K

  • MODBUS RTU協(xié)議、RS 485接口+以太網(wǎng)接口

  • 外置測(cè)溫傳感器端口 、USB數(shù)據(jù)接口

  • 試驗(yàn)執(zhí)行時(shí), 可實(shí)時(shí)顯示圖形曲線, 顯示內(nèi)容;溫度設(shè)定實(shí)際值,執(zhí) 行程序周期,程序執(zhí)行中具有跳文件,保持功能。

  • 風(fēng)冷

  • 設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示,故障信息自動(dòng)診斷, 多項(xiàng)報(bào)警保護(hù): 電源故 障 ,壓縮機(jī)過(guò)載 、循環(huán)泵熱過(guò)載 、制冷低壓報(bào)警 、 制冷高壓報(bào)警 、超 溫 、溫度模塊故障 、 電加熱防干燒設(shè)計(jì)等保護(hù)功能。


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