實時膜厚檢測儀返回列表頁

舉報評價

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號LEM-CT-670-G50

品牌

廠商性質(zhì)代理商

所在地

在線詢價加入對比查看聯(lián)系電話

更新時間：2023-07-27 13:05:44瀏覽次數(shù)：711次

聯(lián)系我時，請告知來自化工儀器網(wǎng)

同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品更多>

產(chǎn)品分類品牌分類

HORIBA（過程&環(huán)境）: 煙氣分析系統(tǒng) 大氣污染成分分析過程分析 RoHS檢測儀器油份分析儀水質(zhì)測量分析光澤儀水處理及環(huán)境

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別進口應(yīng)用領(lǐng)域建材,電子,汽車,電氣概要實時的干涉測量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

詳情介紹

概要

實時的干涉測量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。