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實時膜厚檢測儀

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產(chǎn)品型號DIGILEM-CPM-Xe/Halogen

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地

更新時間：2023-07-27 13:09:14瀏覽次數(shù)：561次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 建材,電子,汽車,電氣 實時的干涉測量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

概要

實時的干涉測量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點檢測。基于這個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

特征

  • 監(jiān)測透明薄膜的厚度和高度，如GaN,ALGaN,SiO2 和SiN。
  • 適用于等離子體頻譜分析。
  • 生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
  • 終點檢測法的靈活應(yīng)用。
  • *的加工特點。

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