熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器利用流體（包括氣體和液體）的熱導(dǎo)率來確定質(zhì)量流量。與體積流量測(cè)量裝置例如吹掃儀表（可變面積-VA流量計(jì)）或渦輪儀表不同，熱式質(zhì)量流量計(jì)（MFMs）和質(zhì)量流量控制器（MFCs）相對(duì)受流入介質(zhì)的溫度和壓力波動(dòng)影響較小。

熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器工作原理

熱式質(zhì)量流量計(jì)/控制器可提供質(zhì)量流量的直接測(cè)量，與大多數(shù)其他測(cè)量體積流量和需要單獨(dú)測(cè)量溫度和壓力來換算密度并最終計(jì)算質(zhì)量流量的原理不同。

質(zhì)量流量儀表實(shí)際在分子水平上測(cè)量和控制流量，可向工藝流程提供準(zhǔn)確、可重復(fù)和可靠的氣體輸送。

熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器可分為3種不同的傳感器原理：

1.氣體熱式質(zhì)量流量傳感器，使用旁路原理

2.氣體熱式質(zhì)量流量傳感器，使用直通/CTA原理

3.液體熱式質(zhì)量流量傳感器，使用直通/CTA/CPA原理