高真空隔膜泵又稱控制泵，是上世紀(jì)七十年代在往復(fù)式活塞泵的基礎(chǔ)上，增加隔膜室演變而來的。是一種輸送機(jī)械，是目前國內(nèi)的一種泵類。它與普通泵類不同的是，它是執(zhí)行器的主要類型，通過接受調(diào)制單元輸出的控制信號(hào)，借助動(dòng)力操作去改變流體流量，常借助的動(dòng)力有空氣，電動(dòng)裝置，液體介質(zhì)等。