應(yīng)用領(lǐng)域 |
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日本ULVAC愛發(fā)科搖動活塞型干式真空泵
活塞干式真空泵通過氣缸內(nèi)皮碗密封的往復(fù)運動來形成真空狀態(tài)。
泵速體積越大、泵機揚程數(shù)越高。
日本ULVAC愛發(fā)科搖動活塞型干式真空泵
特點
結(jié)構(gòu)緊湊,排氣量大。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。
內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護器等安全設(shè)計。
大氣壓下可運作。
可全壓力范圍內(nèi)連續(xù)運轉(zhuǎn)。
結(jié)構(gòu)簡單,維護方便。
用途
真空吸盤,真空鑷子。
半導(dǎo)體行業(yè)。(處理機,貼片機)
FPD行業(yè)。(壓合機)
印刷機。
注塑成型。
吸附和轉(zhuǎn)移。
日本ULVAC愛發(fā)科搖動活塞型干式真空泵
規(guī)格
| Unit | 50Hz | 60Hz |
有效排氣速度 | L/min | 300 | 330 |
極限壓力*1 | Pa (kPa) | 8.0×103 (-93.3) |
使用電動機*2 | Three phase, 200-230V, 400W, 4P |
全負荷電流 | A | 2.1 | 2.5 |
重量 | kg | 20 |
吸/排出孔(內(nèi)螺紋尺寸) | mm | O.D.Φ16×I.D.Φ12 (Rc 1/2) |
使用環(huán)境溫度范圍 | ℃ | 0~40 |
最大尺寸 | mm | 315(W)×443(L)×231(H) |
*1:極限壓力如()真空計顯示。
*2:不包括電源插頭和電源線
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