日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵
特點
結構緊湊，排氣量大。
干式真空泵的最高壓力水平。
內置自動復位型熱保護器等安全設計。
通過空氣沖洗抑制水分凝結。
用途
分析設備
氣體回收系統(tǒng)
涂裝設備
TMP的背泵
氦氣檢漏儀
半導體制造工藝
日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵
規(guī)格
| Unit | 50Hz | 60Hz | 設計排氣速度度※1 | L/min | 90 | 108 | 極限壓力 | Pa (kPa) | 5.0 | 使用電動機※2 |
| 單相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 電容器啟動?運転 | 全負荷電流 | A | 2.6/1.3/1.6
(100/200/230V) | 2.1/2.2/1.1/1.1
(100/115/200/230V) | 重量 | kg | 14.0 | 吸氣口徑 |
| KF-25 | 排氣口徑 |
| KF-16 | 使用環(huán)境溫度范圍 | ℃ | 5～40 | 水蒸氣處理量 | g/day | ≦5 以下 （AF開時※3, 室溫25℃, 濕度60％以下） | 噪音水平 | dB | ≦52 （AF開時※3, ≦57） | 最大尺寸 | mm | 214(W)×308(L)×225(H) |
|
※1：設計排氣速度時當抽取大氣壓氣體時實際排氣速度的1.2倍。
※2：不包括電源插頭和電源線。
※3：AF = Air Flash
空氣沖洗操作不僅排出殘留在泵中的水，而且還具有恢復極限力的效果。
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