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支持半導(dǎo)體制造的超純水是什么?

2024-11-2  閱讀(219)

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支持半導(dǎo)體制造的超純水是什么?


清洗工序約占半導(dǎo)體制造工序的30%,采用“超純水"(UPW),最大限度地去除雜質(zhì)。

超純水是通過最大限度地去除天然水中的雜質(zhì)而得到凈化的水。自來水中含有溶解的各種物質(zhì),包括鈣、鎂等礦物質(zhì)以及氯等消毒劑。這些雜質(zhì)會嚴重損害半導(dǎo)體制造等精密工藝中的產(chǎn)品質(zhì)量。

因此,在半導(dǎo)體制造等要求高純度的領(lǐng)域, 去除有機物、微粒、溶解氣體等,使離子更接近氫離子(H+)和氫氧根離子(OH-)。被使用。


半導(dǎo)體制造涉及一系列復(fù)雜的工藝,需要極其先進的技術(shù)。超純水是該制造過程的重要組成部分。

在半導(dǎo)體制造中,復(fù)雜的電路圖案形成在稱為硅晶片的薄板上。在此過程中,會進行各種處理,例如切割晶圓和注入雜質(zhì)。在這些處理之后,幾乎總是有一個清潔步驟。

該清洗過程使用超純水。超純水是最大限度去除雜質(zhì)的極其純凈的水。超純水之所以如此重要,是因為半導(dǎo)體電路極其微小,即使是最輕微的雜質(zhì)也會對產(chǎn)品性能產(chǎn)生重大影響。

超純水純度

超純水的純度高,與自來水相比差異明顯。經(jīng)過一些研究,我發(fā)現(xiàn)了一些有趣的例子,所以我想與大家分享。

例如,考慮 50 米游泳池的雜質(zhì)含量。

  • 自來水:2至數(shù)桶

  • 純凈水:1杯

  • 超純水:1勺耳朵清潔水

這是超純水純度高的一個例子。這很容易想象。

如何制備超純水

為了生產(chǎn)超純水,有效去除水中所含的以下四種雜質(zhì)非常重要。

  • 無機物質(zhì):包括源自天然礦物質(zhì)的物質(zhì),如鈣離子、鎂離子(硬度成分)、氯離子和重金屬離子,以及人工混合到水中的物質(zhì)。

  • 有機物質(zhì):種類繁多,包括植物來源的木質(zhì)素和腐植酸,生物來源的蛋白質(zhì)和核酸,以及殺蟲劑和合成洗滌劑等人工有機化合物。

  • 細顆粒:含有肉眼看不見的細小顆粒,例如從土壤中浸出的顆粒以及水管腐蝕引起的鐵銹。

  • 微生物:包括生活在水中的各種微生物,例如細菌、病毒和藻類。

這些雜質(zhì)各自具有不同的性質(zhì),需要選擇最佳的處理方法來去除它們。目前的純水設(shè)備和超純水設(shè)備通過結(jié)合先進的分離技術(shù)去除這些雜質(zhì)來制造高純水。





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