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B-72WJ 是日本 YAMAMOTO(山本鍍金)生產(chǎn)的 ?螺旋應(yīng)力計?,主要用于工業(yè)領(lǐng)域中的 ?電鍍應(yīng)力精確測量與控制?,其核心用途及技術(shù)特點(diǎn)如下:
一、核心用途?
?實(shí)時監(jiān)測電鍍內(nèi)部應(yīng)力?
通過傳感器測量基板應(yīng)變,實(shí)時分析電鍍層內(nèi)部應(yīng)力變化,適用于薄膜、晶圓等精密元件的微弱應(yīng)力檢測(可測低至0.5μm膜厚)。
?多階段應(yīng)力追蹤?
在一次測量中記錄不同電鍍時間(膜厚)的應(yīng)力數(shù)據(jù),并支持在已鍍膜層上二次鍍覆時的疊加應(yīng)力分析。
?兼容特殊工藝環(huán)境?
適用于堿性浴、化學(xué)鍍等場景,滿足半導(dǎo)體、電子元件制造中對低應(yīng)力鍍層的工藝要求。
二、技術(shù)特點(diǎn)?
?三、典型應(yīng)用場景?
?半導(dǎo)體制造?:晶圓鍍膜應(yīng)力控制,確保微電路結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。
?精密電子元件?:薄膜電容器、微型傳感器等鍍層的應(yīng)力管理。
?科研與質(zhì)檢?:電鍍工藝開發(fā)中的應(yīng)力再現(xiàn)性驗(yàn)證(重復(fù)誤差≤±2%)。
注:設(shè)備需搭配專用燒杯和測試件進(jìn)行低應(yīng)力測量,部分功能套裝含CE認(rèn)證。