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日本原裝現(xiàn)貨荏原 EBARA 干泵EV-X300N

2025-6-25  閱讀(8)

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最新資訊 日本荏原 EBARA 干泵EV-X300N

發(fā)布日期

2025年 6 月2 5 日


我公司發(fā)表了[新產(chǎn)品]“荏原 EBARA 干泵新聞"。

近期我司新推出或升級了荏原 EBARA 干泵憑借其無油運行、耐腐蝕及高潔凈度的技術(shù)特性,主要應(yīng)用于以下對真空環(huán)境要求嚴苛的工業(yè)場景:


?一、制造領(lǐng)域?

  1. ?半導(dǎo)體與液晶面板生產(chǎn)?

    • 制造過程中需超高潔凈真空環(huán)境,干泵無油設(shè)計避免油蒸氣污染晶圓和精密元件,保障薄膜沉積/蝕刻工藝穩(wěn)定性。

  2. ?太陽能電池制造?

    • 用于硅片鍍膜設(shè)備的真空系統(tǒng),耐腐蝕設(shè)計適應(yīng)化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝中的腐蝕性氣體環(huán)境。


?二、科研與特殊工藝?

  1. ?真空鍍膜設(shè)備?

    • 金屬/光學(xué)鍍膜時提供穩(wěn)定真空度,無油污染確保鍍層均勻性和附著力(如裝飾鍍膜、光學(xué)鏡片鍍膜)。

  2. ?制藥與生物實驗室?

    • 輸送敏感介質(zhì)時避免油污染,符合無菌生產(chǎn)要求,適用于凍干機、分子蒸餾設(shè)備。


?三、化工與腐蝕性環(huán)境?

  1. ?腐蝕性氣體處理?

    • 特殊涂層與材質(zhì)(如EV-S200型號)耐受酸堿氣體,用于化工反應(yīng)釜排氣、廢氣回收系統(tǒng)。

  2. ?鋰電池電極生產(chǎn)?

    • 在電極材料干燥工序中提供無油真空,防止電解液污染,提升電池安全性。


?核心優(yōu)勢?

?特性??價值?
??干式運行消除油蒸氣反流,保障工藝潔凈度
?強耐腐蝕性?泵腔與轉(zhuǎn)子采用特殊涂層/合金,抵抗HF、Cl?等強腐蝕介質(zhì)
?低維護成本?無潤滑油消耗,減少廢油處理環(huán)節(jié),降低長期運維成本

注:荏原干泵需定期維護轉(zhuǎn)子與密封件,建議由授權(quán)服務(wù)商執(zhí)行專業(yè)保養(yǎng)。






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