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真空法蘭是真空設(shè)備中使用的法蘭。
法蘭是用于壓力容器的圓形或方形板狀零件。該部件用于連接其他設(shè)備或附加觀察窗，同時(shí)保持容器的氣密性。其中真空法蘭用于在設(shè)備內(nèi)部創(chuàng)造真空環(huán)境。
外周設(shè)有螺紋孔和凹槽，法蘭用螺栓和螺母緊固在一起。出于密封目的，通常使用墊圈或填料來(lái)密封產(chǎn)品。標(biāo)準(zhǔn)有NW、KF、JIS等多種。
真空法蘭的應(yīng)用
真空法蘭廣泛應(yīng)用于需要真空設(shè)備的各個(gè)行業(yè)。下面是它的用途。
1、半導(dǎo)體行業(yè)
在半導(dǎo)體行業(yè)中，真空環(huán)境對(duì)于晶圓制造過(guò)程至關(guān)重要。通過(guò)在真空下進(jìn)行蒸發(fā)和蝕刻等工藝，可以制造高質(zhì)量的半導(dǎo)體器件。真空法蘭用于保證真空室氣密，防止雜質(zhì)進(jìn)入，同時(shí)保證氣體和反應(yīng)物的引入。
2、光學(xué)設(shè)備行業(yè)
在光學(xué)設(shè)備行業(yè)，真空環(huán)境用于光學(xué)元件（例如透鏡和鏡子）的鍍膜工藝。通過(guò)在真空環(huán)境下進(jìn)行鍍膜，可以涂覆高精度且厚度均勻的薄膜，從而提高光學(xué)性能。真空法蘭對(duì)于確保涂層材料沉積過(guò)程中真空室內(nèi)的氣密性并防止雜質(zhì)污染非常重要。
3、發(fā)電業(yè)務(wù)
用于發(fā)電的蒸汽輪機(jī)使用一種稱為冷凝器的裝置將蒸汽轉(zhuǎn)化為純水。在冷凝器內(nèi)，蒸汽被冷卻并返回純水，在內(nèi)部形成真空。真空法蘭是維持冷凝器連接點(diǎn)真空條件的重要部件。
4、材料研發(fā)
在研發(fā)領(lǐng)域，真空設(shè)備用于合成新材料和研究物理性質(zhì)。特別是物理、化學(xué)實(shí)驗(yàn)往往需要在真空下進(jìn)行反應(yīng)和樣品分析，必須在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的同時(shí)防止外界空氣和雜質(zhì)的侵入。這使得能夠使用更高純度的樣品進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，從而加速科學(xué)發(fā)現(xiàn)和技術(shù)創(chuàng)新。
真空法蘭原理
真空法蘭用于確保真空系統(tǒng)的氣密性。用于連接兩個(gè)或多個(gè)管道、管子等的機(jī)械連接零件。它對(duì)于防止雜質(zhì)和空氣從外部進(jìn)入同時(shí)保持內(nèi)部真空狀態(tài)起著重要作用。
真空法蘭通過(guò)在法蘭連接處使用墊片、填料等密封材料來(lái)保證氣密性。這是一種將密封材料夾在法蘭的接觸面之間并通過(guò)螺栓和螺母緊固來(lái)壓縮的機(jī)構(gòu)。這甚至可以關(guān)閉最小的間隙并防止氣體從外部泄漏。
真空法蘭常采用SUS316L、SUS304等不銹鋼材料。使用鎳合金（例如鉻鎳鐵合金）也可以提高耐腐蝕性。采用聚四氟乙烯填料和銅墊片作為密封劑以保證氣密性。
真空法蘭的類型
根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的不同，真空法蘭有多種類型。以下是這些類型的一些示例。
1.KF/NW法蘭
也稱為 KF (Klein Flansche) 法蘭或 NW (Normschliff) 法蘭，廣泛應(yīng)用于中真空至高真空范圍。它采用模塊化設(shè)計(jì)，使用密封材料和卡箍實(shí)現(xiàn)氣密連接。易于安裝和拆卸，非常適合經(jīng)常更改配置的設(shè)備。
2.CF法蘭
CF（Conflat Flang）法蘭專為超高真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并使用銅或不銹鋼制成的金屬墊片進(jìn)行連接。它可以實(shí)現(xiàn)非常高的氣密性和真空度，并且能夠抵抗熱循環(huán)和化學(xué)腐蝕。
3、美標(biāo)法蘭
ANSI（美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會(huì)）法蘭是主要用于低真空應(yīng)用的美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)。它也用于一般管道系統(tǒng)，通常使用螺栓和螺母連接。
4、JIS法蘭
JIS是定義日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)，為許多工業(yè)產(chǎn)品和技術(shù)制定標(biāo)準(zhǔn)。真空法蘭還有JIS標(biāo)準(zhǔn)，主要適用于日本制造的真空設(shè)備。使用螺栓和螺母進(jìn)行緊固是很常見(jiàn)的。
