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干涉儀是一種通過(guò)測(cè)量光照射到物體時(shí)發(fā)生的干涉現(xiàn)象來(lái)測(cè)量物體的表面形狀、折射率和尺寸的裝置。
干涉現(xiàn)象是多個(gè)波疊加并相互增強(qiáng)或抵消時(shí)產(chǎn)生新的波形。當(dāng)波來(lái)自同一源或具有相同或相似的頻率時(shí)，這一點(diǎn)最為明顯。
干涉儀有不同類型，例如邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x和斐索干涉儀。
干涉儀用途
干涉儀的主要用途是對(duì)玻璃、金屬、陶瓷等平板等物體表面進(jìn)行非接觸式觀察。例如，玻璃產(chǎn)品包括智能手機(jī)蓋板玻璃、液晶玻璃、分色光學(xué)系統(tǒng)中使用的棱鏡和半導(dǎo)體掩模基板，金屬產(chǎn)品包括模具和鋁盤(pán)。
此外，還可以測(cè)量電子設(shè)備用半導(dǎo)體器件中使用的硅晶片、硬盤(pán)基板等特殊物品。射電干涉儀還用于使用射電望遠(yuǎn)鏡進(jìn)行天文觀測(cè)。
干涉儀原理
主干涉儀將光源發(fā)出的光分成兩束，使一束光束穿過(guò)樣品并與另一束干涉。此時(shí)，光學(xué)距離根據(jù)透射樣品的折射率和距離而變化，并出現(xiàn)干涉條紋圖案。
通過(guò)用干涉儀分析干涉條紋圖案，可以測(cè)量測(cè)量樣品的表面形狀和透射波前形狀。用干涉儀可以測(cè)量的尺寸最多只有幾厘米到十幾厘米。如果測(cè)量樣品較大，可能需要采取切割等措施。
干涉儀類型
干涉儀包括可測(cè)量平面玻璃、晶圓和鏡子等拋光表面的干涉儀，以及可測(cè)量光學(xué)透鏡、鋼球和塑料透鏡等球面的干涉儀。還有在 2 軸或 3 軸上進(jìn)行測(cè)量的多軸干涉儀，這些多軸干涉儀可以實(shí)現(xiàn)更節(jié)省空間和高靈敏度的測(cè)量。
激光掃描干涉儀還可以測(cè)量平面以外的表面，例如圓柱面。用于測(cè)量玻璃、光纖端面、陶瓷、金屬磨削面、注塑塑料等。種類有很多種，需要根據(jù)用途來(lái)選擇。
