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池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司
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UX 4486SC池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
| 參考價(jià): | ￥ 7669 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- UX 4486SC 產(chǎn)品型號(hào)
- USHIO/牛尾 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：217更新時(shí)間：2024-08-06 18:35:44
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- www.taotaoxi.com
- 網(wǎng)址：
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材,電子,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 訂貨號(hào) | 176.0755.4908. |
USHIO 一直提供專門用于服務(wù)器、個(gè)人電腦、智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備中使用的 封裝應(yīng)用的步進(jìn)機(jī)。這是一款封裝基板用步進(jìn)機(jī)，采用了Ushio多年來積累的光源和光學(xué)技術(shù)以及我們 的大面積投影透鏡技術(shù)，并使用了與面板尺寸相對應(yīng)的平臺(tái)。它實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了封
產(chǎn)品介紹
池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
USHIO 一直提供專門用于服務(wù)器、個(gè)人電腦、智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備中使用的封裝應(yīng)用的步進(jìn)機(jī)。這是一款封裝基板用步進(jìn)機(jī)，采用了Ushio多年來積累的光源和光學(xué)技術(shù)以及我們 的大面積投影透鏡技術(shù)，并使用了與面板尺寸相對應(yīng)的平臺(tái)。它實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度。
[元件技術(shù)]
配備全球占有率第一的超高壓UV燈
具有高均勻性的 照射光學(xué)系統(tǒng)
的大面積投影鏡頭
響應(yīng)基板特定畸變的對準(zhǔn)技術(shù)
的TTL非曝光波長/對準(zhǔn)方法
Ushio的技術(shù)“TTL非曝光波長對準(zhǔn)"在觀察掩模標(biāo)記時(shí)無需暴露基板上的對準(zhǔn)標(biāo)記。此外，由于可以直接觀察工件標(biāo)記，因此不會(huì)因掩模而降低對比度，并且可以與清晰的標(biāo)記進(jìn)行高精度對準(zhǔn)。
兼容多種對準(zhǔn)標(biāo)記
由于支持對已登記圖案的圖案匹配，因此無需專用對準(zhǔn)標(biāo)記，即可與各種布線圖案進(jìn)行對準(zhǔn)。
高分辨率能力
配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實(shí)現(xiàn)高分辨率。支持全面量產(chǎn)，設(shè)計(jì)規(guī)則線距=5μm。
深景深
由于焦點(diǎn)深度較深（±50 至 100 μm），因此即使由于基板的臺(tái)階、翹曲或波紋而導(dǎo)致焦點(diǎn)偏離，也可以獲得與正確對焦時(shí)相同的圖案輪廓。當(dāng)曝光較厚的干膜、阻焊劑等時(shí)尤其有效。
使用表面平臺(tái)進(jìn)行高速步進(jìn)和重復(fù)
通過使用精密空氣軸承消除摩擦，并通過平面電機(jī)結(jié)構(gòu)使運(yùn)動(dòng)部件更輕、更堅(jiān)固，實(shí)現(xiàn)了高速步進(jìn)重復(fù)操作。此外，表面平臺(tái)使用激光干涉儀進(jìn)行反饋控制，實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)行和高定位精度。
面罩無損傷
UX-4系列陣容
| 模型 | UX-4486SC | UX-44101SC | UX-4423SC | UX-4459SC | UX-4440SC | UX-4438SC | UX-4458SC | UX-4477SC |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 面罩尺寸 | □5英寸 | □7英寸、□5英寸 | □9英寸、□7英寸 | |||||
| 晶圓尺寸 | φ4英寸 | φ6英寸、φ4英寸 | φ8英寸、φ6英寸 | |||||
| 解決 | 7μm長/秒 | 2μm長/秒 | 9μm長/秒 | 6μm長/秒 | 5μm長/秒 | 12μm長/秒 | 6μm長/秒 | 4μm長/秒 |
| 總體疊加精度 | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±2.0μm L/S | ±1.0μ;m L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S |
| 曝光波長 | 洲際線 | 我行 | 洲際線 | 我行 | 我行 | 洲際線 | 我行 | 我行 |
| 吞吐量 | 120W/小時(shí) | |||||||
| 選項(xiàng) | 背面對準(zhǔn)、IR對準(zhǔn)、掩模庫、特殊晶圓支撐 | |||||||
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