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產(chǎn)品型號(hào)UX 4486SC

品牌USHIO/牛尾

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所在地深圳市

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更新時(shí)間：2024-08-06 18:35:44瀏覽次數(shù)：294次

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產(chǎn)地類(lèi)別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合
訂貨號(hào)	176.0755.4908.

產(chǎn)地類(lèi)別

進(jìn)口

應(yīng)用領(lǐng)域

化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合

訂貨號(hào)

176.0755.4908.

池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置

USHIO 一直提供專(zhuān)門(mén)用于服務(wù)器、個(gè)人電腦、智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備中使用的封裝應(yīng)用的步進(jìn)機(jī)。這是一款封裝基板用步進(jìn)機(jī)，采用了Ushio多年來(lái)積累的光源和光學(xué)技術(shù)以及我們的大面積投影透鏡技術(shù)，并使用了與面板尺寸相對(duì)應(yīng)的平臺(tái)。它實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度。

[元件技術(shù)]

配備*占有率*的超高壓UV燈

具有高均勻性的照射光學(xué)系統(tǒng)

的大面積投影鏡頭

響應(yīng)基板特定畸變的對(duì)準(zhǔn)技術(shù)

的TTL非曝光波長(zhǎng)/對(duì)準(zhǔn)方法

Ushio的技術(shù)“TTL非曝光波長(zhǎng)對(duì)準(zhǔn)"在觀察掩模標(biāo)記時(shí)無(wú)需暴露基板上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。此外，由于可以直接觀察工件標(biāo)記，因此不會(huì)因掩模而降低對(duì)比度，并且可以與清晰的標(biāo)記進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn)。

兼容多種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記

由于支持對(duì)已登記圖案的圖案匹配，因此無(wú)需專(zhuān)用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，即可與各種布線圖案進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。

高分辨率能力

配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實(shí)現(xiàn)高分辨率。支持全面量產(chǎn)，設(shè)計(jì)規(guī)則線距=5μm。

深景深

由于焦點(diǎn)深度較深（±50 至 100 μm），因此即使由于基板的臺(tái)階、翹曲或波紋而導(dǎo)致焦點(diǎn)偏離，也可以獲得與正確對(duì)焦時(shí)相同的圖案輪廓。當(dāng)曝光較厚的干膜、阻焊劑等時(shí)尤其有效。

使用表面平臺(tái)進(jìn)行高速步進(jìn)和重復(fù)

通過(guò)使用精密空氣軸承消除摩擦，并通過(guò)平面電機(jī)結(jié)構(gòu)使運(yùn)動(dòng)部件更輕、更堅(jiān)固，實(shí)現(xiàn)了高速步進(jìn)重復(fù)操作。此外，表面平臺(tái)使用激光干涉儀進(jìn)行反饋控制，實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)行和高定位精度。

面罩無(wú)損傷

UX-4系列陣容

模型	UX-4486SC	UX-44101SC	UX-4423SC	UX-4459SC	UX-4440SC	UX-4438SC	UX-4458SC	UX-4477SC
面罩尺寸	□5英寸		□7英寸、□5英寸			□9英寸、□7英寸
晶圓尺寸	φ4英寸		φ6英寸、φ4英寸			φ8英寸、φ6英寸
解決	7μm長(zhǎng)/秒	2μm長(zhǎng)/秒	9μm長(zhǎng)/秒	6μm長(zhǎng)/秒	5μm長(zhǎng)/秒	12μm長(zhǎng)/秒	6μm長(zhǎng)/秒	4μm長(zhǎng)/秒
總體疊加精度	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±2.0μm L/S	±1.0μ;m L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S
曝光波長(zhǎng)	洲際線	我行	洲際線	我行	我行	洲際線	我行	我行
吞吐量	120W/小時(shí)
選項(xiàng)	背面對(duì)準(zhǔn)、IR對(duì)準(zhǔn)、掩模庫(kù)、特殊晶圓支撐