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多路浮子控制供氣系統(tǒng)GSL-3F

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更新時間:2024-03-07 18:56:26瀏覽次數(shù):450

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介:多路浮子控制供氣系統(tǒng)GSL-3F適用于控制一種到三種氣體的通入,管式爐可以置于其上,可用于CVD系統(tǒng)及退火爐,可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響

詳細(xì)介紹


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產(chǎn)品簡介: 多路浮子控制供氣系統(tǒng) GSL-3F 適用于控制一種到三種氣體的通入, 管式爐可以置于其上,  用于 CVD 系統(tǒng)及退火爐,可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。


產(chǎn)品型號

多路浮子控制供氣系統(tǒng) GSL-3F

主要特點

1、適用于低壓小流量,多種氣體的單一或混合連續(xù)供氣。


2、尤其方便多種氣體切換使用,而不造成大氣進(jìn)入加熱管。


3、每條氣體管路均有一個高壓截止閥,有效確保安全。


4、氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,實用、簡便。


5、流量顯示準(zhǔn)確,可有效控制氣體的消耗量。


6、所有儀表及閥門均采用活接頭連接,便于維修和拆卸。

技術(shù)參數(shù)

1、氣路通道:三通道(可根據(jù)需要設(shè)計通道)


2、氣路流量控制器:浮子流量計


3、標(biāo)準(zhǔn)量程: 10ml/min-100ml/min 16ml/min-160ml/min ,25ml/min-250ml/min


4、接口: ?6.35mm


5、截止閥: ?6.35mm


6、不銹鋼管: 外徑 ?6mm×內(nèi)徑 ?4mm


7、混氣罐: ?80mm×140mm





8、壓力真空表: -0.1MPa-0.15MPa ,0.01MPa/grid


9、工作環(huán)境: 5-45℃,高純氣體


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