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深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品分類品牌分類

光學(xué)儀表: 照射裝置光學(xué)系統(tǒng) 紫外線黑光燈電源紫外線裝置照度計(jì) LED照明光源裝置光源

水分儀: 水分儀設(shè)備

光學(xué)儀器: 自準(zhǔn)直儀處理系統(tǒng) 反射計(jì) 比色計(jì) 激光器

分析儀器: 導(dǎo)入機(jī) 熱脫設(shè)備應(yīng)力計(jì) 磁選機(jī) 內(nèi)窺鏡流變儀扭力計(jì) 濃度計(jì) 電阻率分析儀

外觀分析設(shè)備: 稱重機(jī) 焊接機(jī) 分離器試驗(yàn)機(jī) 測量裝置堆焊設(shè)備高度計(jì) 測試儀電阻表測試儀耐壓測試儀水平儀檢查燈光度計(jì) 測量機(jī) 檢測儀白度計(jì)

化工機(jī)械設(shè)備: 均質(zhì)機(jī) 真空設(shè)備真空計(jì) 真空泵

環(huán)境監(jiān)測儀器: 強(qiáng)度計(jì) 粉塵儀推車風(fēng)速計(jì)

溫度控制器: 紅外熱像儀溫度計(jì)

常用儀表: 氣缸霧化裝置功率計(jì)

混合設(shè)備: 攪拌器

光學(xué)顯微鏡: 顯微鏡

過程控制儀器: 壓力機(jī) 壓力調(diào)節(jié)器壓力控制器差壓表氣壓計(jì) 壓力計(jì)

儀器設(shè)備: 栽培機(jī) 車速表鉆孔機(jī) 砂輪抗菌錘過濾器噴嘴濁度計(jì)

濕度儀表: 露點(diǎn)儀濕度計(jì)

專用儀器: 透壓計(jì) 模擬器蝕刻設(shè)備回收裝置色選機(jī)篩選機(jī)

光譜: 光譜儀

振蕩設(shè)備: 微波隔離器振蕩器

過程控制儀: 變送器流量計(jì)

光學(xué)成像設(shè)備: 相機(jī)

食品儀器: 機(jī)器壽司機(jī) 打飯機(jī) 脫粒機(jī) 脫殼機(jī)

光學(xué)器件: 色差儀旋光儀糖度計(jì) 干涉儀探頭連接器升降機(jī) 高斯計(jì) 磁通計(jì) 滴定儀折光儀螺栓測量儀色度計(jì)

元素分析儀: 氮化鋁電池材料液霧裝置鋁物位計(jì) 液位計(jì) 氧化鋁粉物性測定儀質(zhì)構(gòu)儀硬度計(jì) 廢氣分析儀粘度計(jì) 氮化硅氧化鋁氧化鋯

計(jì)量儀表: 定時器特斯拉計(jì) 取向儀衍射儀拉力計(jì) 攝像機(jī) 加油嘴液壓機(jī) 輻射計(jì) 檢測器消泡機(jī) 測厚機(jī) 破碎機(jī) 粉碎機(jī) 光轉(zhuǎn)換器計(jì)數(shù)器

電子儀表: 指示器鉗形表軸承噴砂機(jī) 靜電裝置清潔設(shè)備靜電儀聯(lián)軸器皮帶濾波器檢查裝置電容器檢針器歐姆表點(diǎn)膠筆流量控制器接觸角儀變速器電流計(jì) 轉(zhuǎn)速表校驗(yàn)儀精米機(jī) 拋光機(jī) 機(jī)器設(shè)備膠帶帶鋸機(jī) 分切機(jī) 縱切機(jī) 剖殼機(jī) 恒電位儀控制器噪聲振動計(jì) 控制裝置聲壓計(jì) 記錄儀放大器發(fā)生器

傳感器設(shè)備: 傳感器系統(tǒng) 傳感器

泵閥類: 接頭泵閥

監(jiān)測儀器: 除塵器軸力計(jì) X射線探傷儀監(jiān)測系統(tǒng)

實(shí)驗(yàn)設(shè)備: 臭氧機(jī) 珠磨機(jī) 混配器噴霧裝置分配器涂布機(jī) 濺射設(shè)備除濕機(jī) 球磨機(jī) 管式爐馬弗爐成型機(jī) 捏合機(jī) 加工機(jī) 縫合機(jī) 清洗機(jī) 反應(yīng)器恒溫器注塑機(jī) 混合器脫氣機(jī) 毛刺機(jī) 切割機(jī) 研磨機(jī) 鍍膜機(jī)

玻璃儀器: 比重計(jì)

傳熱設(shè)備: 冷卻器輥壓機(jī) 高溫裝置干燥機(jī) 加熱器

配件耗材: 坩堝玻璃珠纖維清潔載體空氣錘軟管濾布燈繼電器珠絲杠

化工設(shè)備: 送料機(jī)

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日本古河furukawa氮化鋁 (AlN) 陶瓷零件半導(dǎo)體制造設(shè)備用

時間：2024/7/29閱讀：482

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日本古河furukawa氮化鋁 (AlN) 陶瓷零件半導(dǎo)體制造設(shè)備用

半導(dǎo)體制造設(shè)備（用于前端工藝）需要應(yīng)對更小的設(shè)計(jì)規(guī)則和更大的晶圓直徑（300mmφ或更大）。為此，構(gòu)成設(shè)備的部件材料的選擇極其重要。

氮化鋁（AlN）是一種平衡良好的材料，具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性、熱輻射（散熱）、抗熱震性和電絕緣性，并且具有與硅晶片相匹配的熱膨脹性。

利用古河電子的燒成技術(shù)，我們還能夠制造550mmφ的氮化鋁陶瓷部件。我們還將應(yīng)對更大直徑的晶圓。

我們還提供材料。如果您對氮化鋁陶瓷有任何疑問，請隨時與我們聯(lián)系。

特征

具有高導(dǎo)熱率和熱發(fā)射率，熱量均勻性高。

它具有抗熱沖擊能力，可以承受快速加熱和冷卻。

與硅相匹配的低熱膨脹。

對氟氣具有優(yōu)異的耐腐蝕性。

目的

半導(dǎo)體制造裝置（CVD、蝕刻等）用各種基座、靜電吸盤、均熱板、真空吸盤、加熱器

虛擬晶圓

目標(biāo)

化合物半導(dǎo)體制造設(shè)備零部件

型號：FAN-090 / FAN-170 / FAN-200



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