深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第2年

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當(dāng)前位置：深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>光學(xué)儀表>>光源裝置>> EW01S/EW04SUV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T

UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T

參   考   價(jià): ￥ 32000

訂  貨  量: ≥100 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)EW01S/EW04S

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間：2024-10-07 18:23:12瀏覽次數(shù)：183次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,綜合
UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S

用于晶圓周邊曝光的 UV-LED 光源，與 g 線和 i 線抗蝕劑兼容。

UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S


UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S


不僅可以安裝在新設(shè)備上，還可以方便地替換目前使用的UV燈光源。
配備UV-LED，可降低功耗，減少對(duì)環(huán)境的影響，延長(zhǎng)光源的使用壽命，并且無(wú)需任何機(jī)械消耗部件，大大有助于降低客戶的運(yùn)行成本。

光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了超過(guò) 7,000mw/cm2 的高輸出。它是處理厚膜抗蝕劑的理想選擇，以前需要大量的處理時(shí)間。此外，可以顯著縮短曝光處理時(shí)間，大大有助于增加處理的晶圓數(shù)量。

物品內(nèi)容
工作環(huán)境溫度5～40℃（無(wú)凝結(jié)）
電源電壓單相100~240V
工頻50/60赫茲
發(fā)射峰值波長(zhǎng)365±5nm
光輸出穩(wěn)定性±5%以內(nèi)
初始紫外線強(qiáng)度2000mw/c㎡以上（at365nm，距離掩模版0.5mm）
強(qiáng)度分布均勻性10% 或更少（4 x 5 mm 面積）
紫外光源紫外LED
UV光源壽命20,000 小時(shí)（驅(qū)動(dòng)電流下的預(yù)計(jì)壽命）* UV 強(qiáng)度為初始值的 50% 或以上時(shí)的累積點(diǎn)亮?xí)r間
照射ON/OFF功能UV-LED 開/關(guān)控制（通過(guò)遠(yuǎn)程和手動(dòng)控制開/關(guān)燈）
光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能UV-LED 電流調(diào)節(jié) 光強(qiáng)度調(diào)節(jié)范圍為 20 至 99%
外觀材質(zhì)防銹的
外形尺寸150（寬）×200（深）×192（高）毫米


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