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當前位置:深圳秋山工業(yè)設備有限公司>>過程控制儀器>>壓力控制器>> L81SS/L81SH/L81SS-N20日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列
產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 3千-6千 |
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應用領域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 特點介紹
L81系列是一款專為半導體工藝制造氣體設計的產品,具有兩級減壓結構?;窘Y構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范,使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產品。
兩級減壓結構不易受氣源壓力波動的影響,提供穩(wěn)定的壓力和流量,非常適合液化氣絕熱膨脹導致溫降較大的氣體。
功能高壓
焊接規(guī)范金屬墊片配件調節(jié)閥結構針型兼容氣體7 種特殊高壓氣體
腐蝕性氣體
有毒氣體以外的氣體 純
氣體設備標準流量~60NL/分鐘
日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 規(guī)格參數
調節(jié)壓力 Max.0.99MPa
(范圍規(guī)格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa、0~0.99MPa)
氣源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa,調節(jié)壓力變化量0.000007MPa
承受壓力 22.2MPa(進口側)
CV值 0.03
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
內部容積 8.9cm(不含3個壓力表及接頭)
大量的 約2.0公斤
1/4" 面對面密封接頭尺寸(公母相同)………………………………約 100mm
[備注]
■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。
■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀(外螺紋、內螺紋)組合如圖所示??梢詮囊韵滤镜漠a品型號代碼表中進行選擇。
■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。
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