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當(dāng)前位置：深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>過程控制儀器>>壓力調(diào)節(jié)器>> S-TORRⅤT50日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)閥
產(chǎn)品型號S-TORRⅤT50
品 牌TANAKA日酸
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-10-09 11:19:45瀏覽次數(shù)：187次
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 3千-6千 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50 特點介紹
●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導(dǎo)體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。
●通過排除氣體接觸部的螺紋結(jié)構(gòu)，標準實施電解研磨，實現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。
●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。
●在一次室的流路內(nèi)置過濾器，減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。
●包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗。
●STVT50系列采用串聯(lián)隔膜式，具有輸送液化氣體的堅固結(jié)構(gòu)。
●從接觸氣體部排除彈簧，降低了顆粒發(fā)生風(fēng)險。
●通過進行加溫供給，也能夠?qū)?yīng)蒸汽壓為1.0MPa以上的氣體。最大使用壓力2.5MPa。
●作為腐蝕性氣體用，準備了在接觸氣體的主要金屬部分使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。
日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50 規(guī)格參數(shù)
入口側(cè)最高使用壓:出口側(cè)最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過濾器過濾過度:接觸氣體金屬部表面粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:2.5MPa0.6MPa220L/min（或）（P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2氣體）-5～40°C1.8kg（2端口），2.0kg（3端口）20μm/10μm（STVT50SH）Ra0.25μm（可選:Ra0.1μm）1/4"1.3 10-11Pa m3/sec以下
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