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當(dāng)前位置:深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>實驗設(shè)備>>研磨機>> RAD-3520F/12Adwill-Global全自動研磨用保護膠帶貼合機
產(chǎn)品型號RAD-3520F/12
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-12 09:52:36瀏覽次數(shù):632次
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Adwill-Global全自動研磨用保護膠帶貼合機 RAD-3520F/12 特點介紹
擴充暢銷機型“RAD-3510F/12"的功能,實現(xiàn)高性能、省空間化。
1. 標(biāo)準(zhǔn)的雙裝載端口
2. 具有掃片功能的FOUP裝載端口作為標(biāo)準(zhǔn)功能提供
3. 設(shè)備占地面積約縮小30%
4. 可實現(xiàn)70片/小時的高生產(chǎn)能力 選用高速規(guī)格時,可實現(xiàn)最大100片/小時的生產(chǎn)能力
5. 每卷膠帶的晶圓貼膜數(shù)量最多可提高16%※膠帶長度為100m/卷,晶圓尺寸為300mm(12英寸)直徑時
6. 可搭載多種選配功能 ESD措施、各種清潔功能、自動換刀等
Adwill-Global全自動研磨用保護膠帶貼合機 RAD-3520F/12 規(guī)格參數(shù)
A.晶圓裝載、掃片、取片
通過掃描檢測晶圓盒內(nèi)的晶圓。根據(jù)其檢測結(jié)果,由多軸機械臂取片,并運輸至校準(zhǔn)單元。
B.晶圓校準(zhǔn)
晶圓以V形缺口或平邊為基準(zhǔn),以非接觸方式對晶圓的圓心進行校準(zhǔn)后,運輸至貼膜臺。
C.研磨用表面保護膠帶貼合
利用roll-to-roll方法,使用壓輥進行研磨用表面保護膠帶貼合。利用最新的TTC機構(gòu),實現(xiàn)低張力貼合。
D.膠帶切割
通過3D運動控制(x、y、θ),沿晶圓外周進行膠帶切割。
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