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當(dāng)前位置：深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>光學(xué)儀器>>激光器>> LMBE日本Pascal緊湊型激光MBE裝置超真空系統(tǒng)
產(chǎn)品型號LMBE
品 牌PASCAL/日本
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-10-12 13:28:46瀏覽次數(shù)：534次
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日本進(jìn)口santec高性能可調(diào)諧激光器用于光學(xué)
日本進(jìn)口OXIDE連續(xù)深紫外激光器半導(dǎo)體檢查
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 1萬-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 | 組成要素 | 自由電子激光器 |
日本Pascal緊湊型激光MBE裝置超真空系統(tǒng) PASCAL/日本 LMBE 特點介紹
易于操作的設(shè)計可以輕松控制各種沉積條件
該裝置是通過用激光照射放置在超高真空沉積室中的目標(biāo)材料來進(jìn)行激光燒蝕，并將該材料沉積在放置在相對位置的基板上以形成沉積膜的裝置。
它由成膜室、真空排氣系統(tǒng)、靶材旋轉(zhuǎn)單元、紅外燈基板加熱單元和負(fù)載鎖定室單元組成。
該裝置的特點包括紅外燈基板加熱裝置，即使在氧氣氣氛（超過500 mTorr）下也可以將基板加熱到800°C以上，
而這在以前是很困難的，以及允許樣品輸送的機(jī)構(gòu)到沉積室而不將其暴露在大氣中。
日本Pascal緊湊型激光MBE裝置超真空系統(tǒng) PASCAL/日本 LMBE 規(guī)格參數(shù)
高度可擴(kuò)展的超高真空激光 MBE (PLD) 系統(tǒng)
極限真空 6.7×10 -7 Pa以下（5×10 -9 Torr）
配備紅外線燈加熱裝置，可將2英寸板材加熱至800℃以上。
6 種類型的目標(biāo)可用
通過負(fù)載鎖定室單元在真空中輕松更換靶材和基材
可選端口：可連接各種組件
可選擇計算機(jī)全自動控制、控制器電手動控制或兩者兼有。
成膜室及真空排氣系統(tǒng) 腔體形狀： φ300mm×500mmH 圓柱形
極限真空：6.7×10 -7 Pa以下（5×10 -9 Torr）
磁懸浮渦輪泵800L/s
目標(biāo)旋轉(zhuǎn)單位 φ20mm×6軸
自轉(zhuǎn)/公轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動（PC控制或電手動控制）
基材加熱裝置 紅外線燈基板加熱裝置?。筛臑榘雽?dǎo)體激光基板加熱裝置）
板尺寸：1.5英寸（或2英寸）
基材加熱溫度：800℃以上
組合掩模單元 無（可選）
RHEED單位 無（可選）
負(fù)載鎖定室單元 腔體形狀： φ160mm×240mmH 圓柱形
傳輸桿
存儲數(shù)量：2個板架、4個靶架
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