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日本toko-valex超低溫用調(diào)節(jié)閥真空控制液氦 T-8810 特點(diǎn)介紹
是用于控制液氦等接近于絕對(duì)零度的超低溫流體的調(diào)節(jié)閥。
其特征在于，采用將閥門(mén)焊接于真空容器上的結(jié)構(gòu)。
該閥門(mén)內(nèi)件采用了用于低溫運(yùn)轉(zhuǎn)的帶咬合結(jié)構(gòu)，能夠防止熱振動(dòng)以及避免因熱變動(dòng)而導(dǎo)致配管發(fā)生偏斜。
從手機(jī)到電腦、汽車(chē)，半導(dǎo)體是現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品的主角之一。
在半導(dǎo)體行業(yè)中，是以單晶硅制造成套設(shè)備及日光發(fā)電晶圓制造成套設(shè)備、蝕刻及清洗用氣體制造成套設(shè)備、超純水設(shè)備為核心，運(yùn)用我公司產(chǎn)品。
尤其是蝕刻及清潔用氣體，由于包含毒性流體，所以大量采用了帶有膜盒的控制閥。
日本toko-valex超低溫用調(diào)節(jié)閥真空控制液氦 T-8810 規(guī)格參數(shù)
型號(hào)T-8810
型號(hào)超低溫用調(diào)節(jié)閥
連接差込溶接?突合せ溶接
公稱(chēng)直徑（A）6～50
額定Cv值0.01～48
主體材料SUS316L
閥蓋材料SUS316L
延長(zhǎng)管材料SUS316L
內(nèi)件材料SUS316L
墊圈材料鋸齒形金屬墊圈
流量特性等百分比（范圍度 50:1）、線性
快速打開(kāi)（開(kāi)閉）
可配備的驅(qū)動(dòng)部分隔膜電機(jī)：T-5系列、空氣式氣缸、電子式：MSP/PSN系列、電動(dòng)式：CMS系列
選配件氦氣泄漏試驗(yàn)、真空套管、熱錨
內(nèi)件形狀：PCTFE盤(pán)
內(nèi)件附加處理：鎢鉻鈷合金硬化處理
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