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日本toko-valex角型、酸堿用調(diào)節(jié)閥高性能 T-8220 特點介紹
接觸液體部分由樹脂構(gòu)成,耐酸堿腐蝕性優(yōu)異。另外,利用PTTE膜盒實現(xiàn)無軸封結(jié)構(gòu),提升密封性能。
從手機到電腦、汽車,半導體是現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品的主角之一。
在半導體行業(yè)中,是以單晶硅制造成套設備及日光發(fā)電晶圓制造成套設備、蝕刻及清洗用氣體制造成套設備、超純水設備為核心,運用我公司產(chǎn)品。
尤其是蝕刻及清潔用氣體,由于包含毒性流體,所以大量采用了帶有膜盒的控制閥。
日本toko-valex角型、酸堿用調(diào)節(jié)閥高性能 T-8220 規(guī)格參數(shù)
型號T-8220
型號角型 酸堿用調(diào)節(jié)閥
連接規(guī)格JIS、ASME/ANSI 法蘭型 RF 相當 STAD式
公稱直徑(A)15~100
額定Cv值0.01~160
主體材料PVC、PTFE(閥體外殼為SCS13A)
閥蓋材料SCS13A
閥塞材料PTFE/SUS316、TB340
膜盒材料、耐壓PTFE:0.55MPa G
流量特性等百分比(范圍度 50:1)
使用壓力范圍0.5MPa G 以下、大氣壓~1.2kPa abs(9torr)
使用溫度范圍PVC:0~50℃ PTFE:0~100℃
可配備的驅(qū)動部分隔膜電機:T-5 系列
電子式:MSP/PSN 系列、電動式:CMS 系列
選配件范圍度 100:1
閥體材料 PP(聚丙烯)、底座部分:0形環(huán)
膜盒耐性:PTFE?。盡Pa G
量特性:快速打開(開閉)
手動脫氣閥
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