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日本Ebara-keiki壓力傳感器半導(dǎo)體高性能 EBARA/荏原 ESP-7 特點(diǎn)介紹
ESP-7 壓力傳感器是采用擴(kuò)散半導(dǎo)體的高性能傳感器。
來自檢測部分的信號(hào)經(jīng)過內(nèi)部放大器電路放大，由調(diào)節(jié)器轉(zhuǎn)換為 4 至 20 mA，然后傳輸。
● 采用擴(kuò)散型半導(dǎo)體傳感器，具有優(yōu)異的可靠性和耐久性。
●受壓部分采用SUS316L不銹鋼。
● 50kPa 以下的微壓測量具有出色的穩(wěn)定性。
● 可用于多種測量用途，包括空氣、水、油等。
●我們生產(chǎn)各種應(yīng)用產(chǎn)品， 主要是ESP-7型壓力傳感器，例如隔膜壓力傳感器和衛(wèi)生壓力傳感器，非常適合食品、化學(xué)品和藥品等各種用途。
日本Ebara-keiki壓力傳感器半導(dǎo)體高性能 EBARA/荏原 ESP-7 規(guī)格參數(shù)
流體的壓力首先由不銹鋼膜片①承受。
該壓力通過密封在內(nèi)部的硅油②無壓力損失地傳遞至擴(kuò)散型半導(dǎo)體傳感器。
擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力傳感器中，硅基板⑥與玻璃臺(tái)座⑨接合，其中央部被蝕刻成薄膜片狀。
傳遞的壓力使隔膜變形，并改變頂部形成的壓阻式儀表 ⑦。
壓阻式壓力計(jì)由低電流驅(qū)動(dòng)，并通過鍵合線 ⑤ 輸出與壓力成比例的電信號(hào)。
電信號(hào)經(jīng)內(nèi)部電路板的放大器電路部分放大，然后使用調(diào)節(jié)器作為調(diào)節(jié)信號(hào)輸出為4至20mA的電流輸出或1至5V的電壓輸出。
擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力傳感器因溫度變化而輸出變化較大，因此我們的壓力傳感器根據(jù)其各自的特性進(jìn)行溫度補(bǔ)償。
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