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日本technomu翹曲測量機XY軸門型非接觸式 TCS2100/TCS3100 特點介紹
使用激光位移傳感器，將工件固定
，在傳感器移動的同時，
以非接觸方式高精度測量工件表面高度方向的位移量，并
通過下式計算翹曲量：專用軟件。
待測量的物體范圍從晶圓到磨削的金屬產(chǎn)品或透明玻璃。
這是自動判定作品合格與否的檢查機。
日本technomu翹曲測量機XY軸門型非接觸式 TCS2100/TCS3100 規(guī)格參數(shù)
? 以低成本實現(xiàn)高精度測量
? 高速XY平臺，數(shù)據(jù)采集速度快
? 由于是非接觸式，因此無需擔(dān)心損壞測試對象。
? 被測物體的影響很小
? 可以測量從晶圓到研磨金屬產(chǎn)品或透明玻璃的任何物體
? 底座采用石材面板，可最大限度地減少老化。
? 多種測量模式快速測量
? 通過登記工件的判斷基準(zhǔn)值，可以自動判斷OK或NG。
? 我們將根據(jù)工件制作測量臺等（請咨詢我們）。
? 測量面積：200×200mm、300×300mm、其他按要求
? 測量方式：XY掃描法
? 可用的激光位移計：三角測量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸
? 分辨率：~0.001μm（最大）
芯片的彎曲度測量不銹鋼、鈦、鋁、鐵板等金屬板的翹曲測量磨削加工品的翹曲測量樹脂成型品、橡膠加工品等翹曲測定主要適用于方形的測量對象物
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