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日本technomu平面度測(cè)量機(jī)XY軸門型非接觸式 TFL3100 特點(diǎn)介紹
使用激光位移傳感器，固定工件，
在移動(dòng)傳感器的同時(shí)，以非接觸方式高精度測(cè)量工件表面高度方向的位移量，并使用專用軟件計(jì)算平面度。
待測(cè)量的物體范圍從晶圓到磨削的金屬產(chǎn)品或透明玻璃。
這是自動(dòng)判定作品合格與否的檢查機(jī)。
? 以低成本實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量
? 高速XY平臺(tái)，數(shù)據(jù)采集速度快
? 由于是非接觸式，因此無需擔(dān)心損壞測(cè)試對(duì)象。
? 被測(cè)物體的影響很小
? 可以測(cè)量從晶圓到研磨金屬產(chǎn)品或透明玻璃的任何物體
? 采用石質(zhì)平臺(tái)作為底座，可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定的測(cè)量。
? 多種測(cè)量模式快速測(cè)量
? 通過登記工件的判斷基準(zhǔn)值，可以自動(dòng)判斷OK或NG。
? 我們將根據(jù)工件制作測(cè)量臺(tái)等（請(qǐng)咨詢我們）。
? 測(cè)量面積：200×200mm、300×300mm、其他按要求
? 測(cè)量方式：XY掃描法
? 可用的激光位移計(jì)：三角測(cè)量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸
? 分辨率：~0.001μm（最大）
日本technomu平面度測(cè)量機(jī)XY軸門型非接觸式 TFL3100 規(guī)格參數(shù)
尺寸20mm±3mm三角測(cè)距式激光器半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)650nm可見光CLAS3R輸出4.8mW0.02μm（注1）±20mmX=320mm（M）AX）Y=320mm（MAX）1μm/0.1mm/1.0mm/STEP（可選）30mm/SEC30μm以內(nèi)±1μm以內(nèi)5μm以內(nèi)約W600×H350×D600 140Kg以下PC/AT兼容機(jī)5相微步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器USB1.1/2.0約W388×H140×D205 7Kg以下支持OS Windows 7（32位）的外形、重量XY自動(dòng)載物臺(tái)部項(xiàng)
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