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日本technomu非接觸式截面/粗糙度測量裝置 TFS2100系列 特點介紹
該系統(tǒng)使用光斑直徑為2μm的位移傳感器以非接觸方式測量物體的表面粗糙度和截面形狀。
由于符合JIS'94和JIS'01，因此可以比較和替換現(xiàn)有數據。
? 以小尺寸、低價格實現(xiàn)高精度測量
? 可以使用市售的激光位移傳感器。
? 快速數據采集
? 由于是非接觸式，因此無需擔心損壞測試對象。
? 能夠測量透明或鏡面物體
? 被測物體的影響很小
? 多種測量模式可供選擇
? 粗糙度符合JIS'94和JIS'01
? 也可以合并您自己的粗糙度參數。
? 可以根據所使用的物體的形狀構建系統(tǒng)。
日本technomu非接觸式截面/粗糙度測量裝置 TFS2100系列 規(guī)格參數
項目目TFS2100AW TFS2100型式別透明體、鏡面體的測量可測量半導體激光源670nm可見光CLASSI170μWSS21-80XY80mm激光傳感器無（客戶自備）Z軸方向測量范圍±0.3mm測量方式共焦式工作距離分辨率0.01μm光斑直徑φ2μm直線性±0.5%F.S重復精度AC100V±10%50/60Hz60W以下TFS2100系列通用機一覽表8μm以內（最大移動時）±1μm以內10μm以內（最大移動時）100mm0.1μm/STEP
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