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FS-3000HORIBA堀場(chǎng)全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選
參考價(jià): 4500
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • FS-3000 產(chǎn)品型號(hào)
  • HORIBA/堀場(chǎng) 品牌
  • 代理商 廠商性質(zhì)
  • 深圳市 所在地

訪問(wèn)次數(shù):409更新時(shí)間:2025-10-14 21:42:31

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排氣壓力控制器

EC-5000 系列排氣壓力控制器可以在腔室內(nèi)保持一致的壓力,由用戶選擇。高分辨率步進(jìn)電機(jī)和的蝶閥確保對(duì)任何壓力變化做出快速、靈敏的響應(yīng)。

好處:

  • 適用于高真空:不銹鋼機(jī)身

  • 耐腐蝕:還提供帶 PTFE 主體的型號(hào)

  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)。

當(dāng)排氣流量調(diào)整到優(yōu)良水平時(shí):

  • 光刻膠分布在均勻的薄膜中

  • 防止油霧的二次沉積

  • 防止危險(xiǎn)蒸氣的擴(kuò)散。

與流量傳感器控制相比,由于光刻膠和其他污染的積累引起的靈敏度變化較小,并且消除了湍流和其他噪聲的影響,從而實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定、響應(yīng)性的控制。




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