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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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TG350FOsaka大阪真空高性能進口小巧渦輪分子泵
| 參考價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- TG350F 產(chǎn)品型號
- OSAKA大阪真空 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：83更新時間：2025-04-19 15:55:28
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- www.tamasakisci.cn
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品類型 | 有油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 儀器種類 | 分子泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,地礦,能源,電子/電池 |
Osaka大阪真空高性能進口小巧渦輪分子泵
特點：
輕巧設(shè)計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強
多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
產(chǎn)品介紹
Osaka大阪真空高性能進口小巧渦輪分子泵
Osaka大阪真空高性能進口小巧渦輪分子泵
輕巧設(shè)計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強
經(jīng)400次大氣沖擊驗證多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學(xué)部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 吸氣口法蘭 | VG100 CF100 ISO-R100 | |
| 排氣速度 | VG/ISO-R?CF N2 (L/s) | 350/330 |
| VG/ISO-R?CF N2(附加金屬保護網(wǎng)) (L/s) | 330/310 | |
| VG/ISO-R?CF H2 (L/s) | 210 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 極限壓力 | Pa/Torr | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 500 |
| 啟動時間 | (min) | 2-2.5 |
| 停止時間 | (min) | 5-6.5 |
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧80 |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
※1：輔助泵的容量是160L/min情況下的最大容許流量
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對應(yīng)氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對應(yīng)的氣體種類請咨詢銷售人員。
