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所在地:日本
貨物所在地:北京北京市
更新時(shí)間:2025/1/15 16:26:10
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進(jìn)口HORIBA堀場多組分氣體混合裝置MU-3000
進(jìn)口HORIBA堀場多組分氣體混合裝置MU-3000
濃度穩(wěn)定的氣體生成
質(zhì)量流量控制可生成濃度準(zhǔn)確的混合氣體,而不受供給壓力或環(huán)境溫度變化的影響。
配備多氣體/多范圍功能模型質(zhì)量流量控制器,支持多種氣體類型,允許客戶改變氣體類型和流量范圍。
易于使用的
專用軟件可讓您輕松設(shè)置生成氣體的流量和氣體濃度。
它具有編程功能,因此您可以創(chuàng)建自己喜歡的食譜。
兼容多種流量
兼容多種流量,從微小流量(幾個(gè) SCCM)到大流量。
駕駛模式
手動(dòng):每條MFC線均可手動(dòng)操作。
自動(dòng):根據(jù)預(yù)設(shè)配方(程序)進(jìn)行操作。
本地:從 PC 啟動(dòng)配方/停止配方(可選擇暫停)
遠(yuǎn)程:通過外部信號(hào)啟動(dòng)配方/停止配方(可選擇暫停)
顯示功能
瞬時(shí)流量設(shè)定值/瞬時(shí)流量值/累計(jì)流量顯示/總發(fā)生流量值/總發(fā)生流量累計(jì)值
可以設(shè)定并顯示產(chǎn)生的氣體濃度值。
電磁閥開/關(guān)狀態(tài)
配方運(yùn)行狀態(tài)顯示(顯示各步驟的剩余步驟)
配方創(chuàng)建功能(程序功能)
每行最多可創(chuàng)建 50 個(gè)步驟的程序。
(包括斜坡上升/下降功能)
自帶循環(huán)功能
配方記憶功能/配方確認(rèn)功能
每個(gè)流量的記錄功能
由于可以記錄產(chǎn)生的氣體的流量,因此可以保留操作狀態(tài)的記錄。
MFC自動(dòng)調(diào)零功能
可通過 PC 軟件進(jìn)行自動(dòng)調(diào)零。
報(bào)警功能
●流量異常 ●外部異常報(bào)警 ●通訊異常
配備寬范圍MFC
配置軟件該
裝置配備了 MFC,允許客戶更改氣體類型和流量范圍。
您可以使用專用軟件(配置軟件)輕松更改 MFC 規(guī)格,而無需拆卸 MFC。
即使您更改MFC氣體類型或流量范圍,控制軟件也會(huì)自動(dòng)加載MFC信息,使更改后的初始設(shè)置變得容易。
易于改變氣體類型
MFC的多氣體功能可以讓您輕松改變氣體類型。無需使用轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行校正,并且可以精確控制流量,因此在更換多個(gè)氣瓶時(shí)使用時(shí)非常有效。
寬范圍濃度產(chǎn)生
MFC的多范圍功能可以在不增加MFC的情況下大大擴(kuò)展混合氣體的濃度范圍。由于可以在較寬的濃度范圍內(nèi)生成,因此可以減少M(fèi)FC生產(chǎn)線的數(shù)量并降低成本。
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