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日本進口HORIBA堀場IR-400氣體監(jiān)測儀
日本進口HORIBA堀場IR-400氣體監(jiān)測儀

所在地：日本

貨物所在地：北京北京市

更新時間：2025/1/17 11:52:31

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供應(yīng)簡介
日本進口HORIBA堀場IR-400氣體監(jiān)測儀
隨著半導(dǎo)體制造薄膜沉積工藝中微細加工的進步，處理后保持腔室清潔對于提高生產(chǎn)率變得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點檢測監(jiān)視器，可實時監(jiān)測廢氣成分（SiF4、CF4）。通過優(yōu)化干洗終點檢測、減少清潔氣體消耗和時間以及減少室損壞，有助于延長零件的使用壽命。


詳細介紹

日本進口HORIBA堀場IR-400氣體監(jiān)測儀

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同時監(jiān)控兩個組件

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